کوئنچ روغن با خلاء عبارت است از گرم کردن قطعه کار در محفظه گرمایش خلاء و انتقال آن به مخزن روغن کوئنچ.محیط خاموش کننده روغن است.روغن خاموش کننده در مخزن روغن به شدت هم زده می شود تا قطعه کار به سرعت خنک شود.
این مدل دارای مزایایی است که می توان قطعات کار روشن را از طریق کوئنچ روغن در خلاء، با ریزساختار و عملکرد خوب، بدون اکسیداسیون و کربن زدایی در سطح به دست آورد.سرعت خنک کردن خاموش کردن روغن سریعتر از کوئنچ گاز است.
روغن خلاء عمدتاً برای خاموش کردن در محیط روغن خلاء فولاد ساختاری آلیاژی، فولاد بلبرینگ، فولاد فنر، فولاد قالب، فولاد پرسرعت و سایر مواد استفاده می شود.