نظریه کار:

با پیش پمپ کردن کوره تا خلاء و سپس گرم کردن تا دمای تنظیم شده، آمونیاک را برای فرآیند نیتریداسیون باد کنید، سپس پس از چندین چرخه، دوباره پمپ کرده و باد کنید تا به عمق نیترید هدف برسید.

مزایا:

مقایسه با نیترید گازی سنتی. با فعال شدن سطح فلز در گرمایش خلاء، نیترید خلاء ظرفیت جذب بهتری دارد، زمان فرآیند کمتر، سختی بالاتر،دقیقکنترل، مصرف گاز کمتر، لایه ترکیبی سفید متراکم‌تر.