ویژگی‌ها:

۱) سرعت نیتریداسیون بالاتر است، چرخه نیتریداسیون می‌تواند به طور مناسب کوتاه شود و زمان نیتریداسیون یونی می‌تواند به ۱/۳ تا ۲/۳ زمان نیتریداسیون گازی کاهش یابد.

۲) شکنندگی لایه نیتریدی کم است و لایه سفید تشکیل شده روی سطح نیترید پلاسما بسیار نازک است یا حتی هیچ لایه‌ای وجود ندارد. علاوه بر این، تغییر شکل ناشی از لایه نیتریدی کم است که به ویژه برای قطعات دقیق با اشکال پیچیده مناسب است.

۳) می‌توان در مصرف انرژی و آمونیاک صرفه‌جویی کرد. مصرف انرژی الکتریکی ۱/۲ تا ۱/۵ نیترید گازی و مصرف آمونیاک ۱/۵ تا ۱/۲۰ نیترید گازی است.

۴) تا زمانی که قطعه‌ای که نیتریدینگ نمی‌خواهد، درخششی ایجاد نکند، می‌توان به راحتی نیترید موضعی را انجام داد. محافظت از قطعه غیر نیتریدی آسان است و می‌توان درخشش را با محافظ مکانیکی و صفحه آهنی محافظت کرد.

۵) بمباران یونی می‌تواند سطح را تصفیه کرده و لایه غیرفعال را به طور خودکار از بین ببرد. فولاد ضد زنگ و فولاد مقاوم در برابر حرارت را می‌توان مستقیماً و بدون از بین بردن لایه غیرفعال، نیتریده کرد.

۶) ساختار لایه مرکب، ضخامت لایه نفوذی و ساختار آن قابل کنترل است.

۷) محدوده دمای عملیات وسیع است و حتی در دمای کمتر از ۳۵۰ درجه سانتیگراد نیز می‌توان به ضخامت مشخصی از لایه نیترید دست یافت.

۸) شرایط کار بهبود یافته است. عملیات نیتریداسیون پلاسمایی بدون آلودگی و تحت فشار بسیار کم و با گاز خروجی بسیار کم انجام می‌شود. منبع گاز نیتروژن، هیدروژن و آمونیاک است و اساساً هیچ ماده مضری تولید نمی‌شود.

۹) می‌توان آن را روی انواع مواد، از جمله فولاد ضد زنگ، فولاد مقاوم در برابر حرارت با دمای نیترید بالا، فولاد ابزار و قطعات دقیق با دمای نیترید پایین اعمال کرد، در حالی که نیترید کردن در دمای پایین برای نیترید گازی بسیار دشوار است.